微電子機械系統(Micro Electro Mechanical System),簡稱MEMS,是以微電子技術為基礎而興起發展的,以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底材料,將常規集成電路工藝和微機械加工獨有的特殊工藝相 結合,全面繼承了氧化、光刻、擴散、薄膜、外延等微電子技術,還發展了平面加工技術、體硅腐蝕技術、固相鍵合技術、LIGA技術等,應用這些技術手段制造 出層與層之間有很大差別的三維微結構,包括膜片、懸臂梁、凹槽、孔隙和錐體等,即微機械結構。這些微結構與特殊用途的薄膜、高性能的電路相結合,便可以制 造出相應的傳感器、執行器、從而實現對壓力、加速度、流量、磁...